ＴＳＭＣ、フッ化水素再利用で年４億元創出へ

ファウンドリー（半導体の受託製造）世界最大手の台湾積体電路製造（ＴＳＭＣ）はこのほど、製造工程で発生するフッ化水素酸廃液を用いて人工氷晶石を製造する事業を拡大する方針を示した。１年間で４億台湾元（約16億3,000万円）以上の利益を生み出すとみている。中央通信社が11月30日伝えた。

ＴＳＭＣは今年９月、中部科学園区（中科）のＦａｂ（ファブ、工場）15Ｂ内に自社初の人工氷晶石合成システムを稼働。11月までに人工氷晶石を150トン生産し、外部に依頼するフッ化水素酸廃液の処理量は500トン減少した。

2023年には先端製造プロセスの工場にも導入する予定で、年間で人工氷晶石の生産量は１万2,000トンに上り、フッ化水素酸廃液の処理量は４万6,000トン削減できるとみている。

氷晶石は主にアルミニウムの製造過程で、アルミニウム原材料の融点を下げるために用いられる。ＴＳＭＣによると、氷晶石を使用することで消費エネルギーを25％節約することができるという。

ＴＳＭＣは18年から環境への配慮と廃液の再利用価値の引き上げを目的に、提携企業と共同でフッ化水素酸廃液のリサイクル技術を研究していた。