半導体大手、アルバックらと研究所開設へ

ＳＴマイクロエレクトロニクスは、アルバック、Ａ＊ＳＴＡＲと共同で、自社工場内に圧電ＭＥＭＳの研究施設を開設する（ＳＴマイクロ提供）

スイスの半導体大手ＳＴマイクロエレクトロニクスは28日、半導体製造装置を手掛けるアルバック（神奈川県茅ケ崎市）やシンガポールの科学技術研究庁（Ａ＊ＳＴＡＲ）と共同で、圧電ＭＥＭＳの研究施設をシンガポールに開設すると発表した。

圧電ＭＥＭＳは、外部から圧力を加えると電力が発生する圧電材料をＭＥＭＳ（微小電気機械システム）と融合させたデバイス。スマートフォンや自動車などに搭載する各種センサー、アクチュエーター（手振れ防止部品）などで不可欠の存在となっている。

ＳＴマイクロとアルバック、Ａ＊ＳＴＡＲ傘下のマイクロエレクトロニクス研究所（ＩＭＥ）は、ＳＴマイクロが中部アンモキオに持つ工場内に新研究施設を開設。直径200ミリメートルのウエハー上で圧電ＭＥＭＳデバイスを作成するプロセス技術の研究・開発（Ｒ＆Ｄ）を手掛ける。

同様の研究施設の開設は世界的にも珍しいという。最初の生産設備は来年４～６月期に稼働する予定。2022年末までに量産体制を整える計画だ。