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半導体大手、アルバックらと研究所開設へ

STマイクロエレクトロニクスは、アルバック、A*STARと共同で、自社工場内に圧電MEMSの研究施設を開設する(STマイクロ提供)

STマイクロエレクトロニクスは、アルバック、A*STARと共同で、自社工場内に圧電MEMSの研究施設を開設する(STマイクロ提供)

スイスの半導体大手STマイクロエレクトロニクスは28日、半導体製造装置を手掛けるアルバック(神奈川県茅ケ崎市)やシンガポールの科学技術研究庁(A*STAR)と共同で、圧電MEMSの研究施設をシンガポールに開設すると発表した。

圧電MEMSは、外部から圧力を加えると電力が発生する圧電材料をMEMS(微小電気機械システム)と融合させたデバイス。スマートフォンや自動車などに搭載する各種センサー、アクチュエーター(手振れ防止部品)などで不可欠の存在となっている。

STマイクロとアルバック、A*STAR傘下のマイクロエレクトロニクス研究所(IME)は、STマイクロが中部アンモキオに持つ工場内に新研究施設を開設。直径200ミリメートルのウエハー上で圧電MEMSデバイスを作成するプロセス技術の研究・開発(R&D)を手掛ける。

同様の研究施設の開設は世界的にも珍しいという。最初の生産設備は来年4~6月期に稼働する予定。2022年末までに量産体制を整える計画だ。


関連国・地域: シンガポール日本欧州
関連業種: IT・通信

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