サムスン電子、DRAM用EUV装置導入か

30日付電子新聞は、韓国のサムスン電子が次世代DRAMの量産に向け、極端紫外線(EUV)露光装置を今年にも導入する可能性が高いと伝えた。EUVは波長が短く、半導体の微細化の限界を克服する露光技術とされる。サムスン電子が導入すれば、世界で初めてDRAM量産に用いら…

関連国・地域: 韓国
関連業種: その他製造IT・通信


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