東進セミ、サムスンにArFレジスト供給

韓国の半導体材料メーカーの東進セミケムが、フッ化アルゴン(ArF)フォトレジスト(感光性樹脂)を国産化し、すでに2020年末からサムスン電子のDRAM製造ライン向けに供給していることが分かった。同社がサムスン電子にArFフォトレジストを供給するのは初めて。 26日付…

関連国・地域: 韓国
関連業種: IT・通信


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