韓国の半導体大手、ＳＫハイニックスは１日、半導体製造の露光工程で使用される希ガス「ネオン」の再利用技術を開発したと発表した。地場特殊ガス企業のＴＥＭＣ…

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韓国の半導体大手、ＳＫハイニックスは１日、半導体製造の露光工程で使用される希ガス「ネオン」の再利用技術を開発したと発表した。地場特殊ガス企業のＴＥＭＣと共同で開発した。ネオンの再利用技術開発は、韓国では初めてという。
ＳＫハイニックスは今年２月、「リサイクル素材使用の中長期ロードマップ（行程表）」を発表し、リサイクル素材の使用比率を2025年までに25％、30年までに30％以上に引き上げる計画を明らかにしている。
ＳＫハイニックスとＴＥＭＣは、露光工程後に排ガス処理装置（スクラバ―）を通じて排出されるネオンを回収してタンクに貯蔵し、ＴＥＭＣのガス処理技術を用いてネオンだけを分離・精製することに成功した。精製したネオンは、ＳＫハイニックスに供給されて半導体の製造に再利用される。
ＳＫハイニックスによると、現在、ネオンの回収率は72.7％。今後、精製効率を向上させて77％まで回収率を引き上げる計画という。
半導体用ネオンは、その大部分を輸入に依存している。ＳＫハイニックスは、ネオンを再利用することができれば、年400億ウォン（約45億円）の購入コストを削減できると期待している。また、温室効果ガスの削減にも貢献できる見通しだ。

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