韓国の半導体製造装置メーカー、韓美半導体は４日、広帯域メモリー（ＨＢＭ）の第６世代製品「ＨＢＭ４」の製造装置である「ＴＣボンダー４」の生産を開始したと…

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韓国の半導体製造装置メーカー、韓美半導体は４日、広帯域メモリー（ＨＢＭ）の第６世代製品「ＨＢＭ４」の製造装置である「ＴＣボンダー４」の生産を開始したと発表した。半導体メーカーの量産日程に合わせて、下半期中に供給を本格化する計画だ。
ＨＢＭ４は第５世代製品「ＨＢＭ３Ｅ」に比べて速度は60％向上する一方で、電力消費量は70％水準に抑えられ、最大で16層まで積層できる。ＤＲＡＭに熱と圧力を加えて固定する工程にＴＣボンダーが使用される。
韓美半導体のＴＣボンダー４は、高度の精密度が要求されるＨＢＭ４の特性により、従来製品に比べて精密度が大幅に向上された。ソフトウエア機能もアップグレードされ、利用者の利便性も改善したという。
同社は６月、ＴＣボンダー４を担当するチームを立ち上げた。約50人の専門人材で構成されており、顧客のさまざまな技術的要求や装置の維持保守などに迅速に対応する。
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